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提拉式长晶炉连云港灌云plc编程维修/保养
炉室结构为顶升式，主炉室和副炉室启时由液压传动装置实现上移。以石墨电阻加热器，将硅半导体材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。它可以生产大规模太阳能电池，集成电路所需要的高品质硅单晶。是根据用户实际需求研发的新产品。是在流动惰性气体环境中TD-800型软轴提拉型单晶炉单晶炉主机系统包括：底座立柱炉室和副炉室之间，设有浮动式翻板阀室，可在现场维持工艺温度的情况下，取出晶体，更换籽晶和补充加料进行连续拉晶。新型翻板阀结构，拱形封头式炉盖结构，考虑热变形采用浮动提升结构，防止卡死现象。单晶提拉采用可承受150Kg不锈钢丝软轴，电控系统采用微机控制，红外测径技术，进口电动及驱动器。晶升和埚升速度，炉内压力，冷却部位温度等数据都采用数字显示仪表指示，两笔记录仪记录温度和籽晶拉速，能稳定的控制生长直径5～8英寸，直径均匀的无错位单晶。
该气流导向装置为碗形，其包括 设于气流导向装置底部的中轴孔，设于所述中轴孔两侧的 一对电极孔， 以及设于所述中轴孔两侧并与该炉的排气口相对的通气孔，该炉的石墨中 轴穿过所述气流导向装置的中轴孔，该炉的 一对电极柱分别穿过所述电极 孔，该炉的排气口与气流导向装置的各通气孔相连通，气流导向装置的上 端部设于该炉的保温筒与发热体之间。所述气流导向装置的中轴孔与该炉的石墨中轴活动密封连接。分子泵，真空泵，真空流量计，plc编程，控制屏，离子泵，涡轮分子泵，螺杆真空泵，涡旋高真空泵，